电子厂超纯水系统流量与液位监测
项目背景与难点
超纯水电阻率极高，电磁流量计不适用；同时管路为洁净管线，不希望因加装仪表而切割管道带来污染风险。
解决方案
一、超纯水流量测量
超纯水输送管路采用外夹式超声波流量计，传感器夹装于管外，不接触介质、不破坏管道，避免引入污染，同时满足大管径测量需求。
二、纯水储罐液位测量
纯水储罐采用雷达物位计非接触测量，精度高、不受介质电导率影响，液位信号用于补水泵的自动控制。
三、废水收集池液位监测
废水收集池与调节池采用超声波液位计监测液位，配合排水泵实现自动启停。
四、管路压力保护
在关键泵出口与过滤器前后配置压力开关，用于报警与保护。
实施效果
- 超纯水管路流量实现非接触测量，无污染风险
- 纯水储罐液位自动监测，补水控制稳定
- 系统用水数据可统计分析，为节水改造提供依据
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